1.由于擴散泵油返流在泵開始工作和泵停止加熱階段，嚴重，因此在開泵前和停泵前應將擴散泵的入口的高真空閥門關閉，可以防止泵油返流到真空室。

  2.不要在壓力高于10-2pa時給冷阱加入液氮，這樣會導致凝結很多水氣。冷阱在使用前要把液氮阱的貯液罐中的，水凝液都清除掉，以避免水凍結在阱內。開始抽氣時，分步地加注液氮，這樣可使真空系統冷凝物,捕集在阱的下部。當達到高真空后，應給阱加注液氮達到較高液面，以便，量捕集氣體,使用廣科真空包裝機時請按說明書操作。

  3.為了縮短抽空時間，當真空室對，氣壓作短時間通氣時，使用干燥氮氣為好。把真空系統內表面的濕氣減到小限度。通氣時應在真空室一側用放氣閥門進行放氣。不可以從擴散泵出口的前，管道上通氣。 、

4使用熱陰，電離計時，應該在真空室內的壓力達到1.33×10-11pa時，再接通電離計的電源，防止因壓力過高而燒壞規管的陰，燈絲。

 5.當真空系統停止工作時，應使系統處于并保持在真空狀態下，但是機械泵要通，氣。

 真空系統的日常維護工作,應注意以下幾點：

 1.在真空系統操作吉應注意真空系統的清潔問題，對周期,工作的真空系統，應及時清除工藝過程所產生的污物，盡量縮短真空室暴露在在氣中的時間以減少潮濕空氣對真空室的吸附量。

 2.真空系統停止工作時應將系統抽空操作一定的真空狀態。

 3.對系統中所使用的種真空泵，真空閥門等應嚴格遵守其操作規程，做好日常的維護工作。